Desain Tunable Kapasitor berbasis MEMS Menggunakan Comsol Multiphysics

Ilmiatul Masfufiah, Trisna Wati, Novie Elok Setiawati

Abstract

Simulasi penyajian kapasitor MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ini menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics 5.0.Penelitian ini terdiri dari merancang dan menyetel atau tining kapasitor pelat paralel yang dapat diatur secara elektrostatis untuk mendapatkan peningkatan nilai kapasitansi. Menyetel nilai kapasitansi dengan mengubah parameter desain kapasitor telah dilakukan dan ditunjukkan dengan 3 cara yaitu: dengan mengubah bahan dielektrik, mengurangi ketinggian pegas, dan memperluas area kapasitor.

Keywords

MEMS; Kapasitor; Nilai Kapasitansi; Comsol Multiphysics

Full Text:

PDF

References

M. M. Teymoori and J. M. Ahangarkolaei, “A Tunable Capacitor Based on MEMS Technology for RF Applications,” vol. 6, p. 5, 2016.

G. Mishra, N. Paras, A. Arora, and P. J. George, “Simulation Of Mems Based Capacitive Pressure Sensor Using Comsol Multiphysics,” p. 4, 2012.

T. Wati, A. Sahrin, T. Suheta, and I. Masfufiah, “Design And Simulation Of Electric Center Distribution Panel Based On Photovoltaic System,” IOP Conf. Ser. Mater. Sci. Eng., vol. 462, p. 012048, Jan. 2019.

S. Arora, A. Arora, and P. J. George, “Design Of Mems Based Microcantilever Using Comsol Multiphysics,” p. 3, 2012.

R. L. Borwick, P. A. Stupar, J. DeNatale, R. Anderson, Chialun Tsai, and K. Garrett, “A high Q, large tuning range, tunable capacitor for RF applications,” in Technical Digest. MEMS 2002 IEEE International Conference. Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.02CH37266), Las Vegas, NV, USA, 2002, pp. 669–672.

I. Masfufiah, “Perancangan Pemanas dan Pengontrol Suhu Sesuai Kondisi Pada Mulut Manusia Berbasis Mikrokontroler Arduino Uno,” J. IPTEK, vol. 23, no. 1, pp. 25–30, Jul. 2019.

S. A. S. Alkadhim, “Modeling Piezoelectric Devices with COMSOL Multiphysics,” 2017.

A. Kolomeytsev, P. Baranov, and I. Zatonov, “The Fluxgate Magnetometer Simulation in Comsol Multiphysics,” MATEC Web Conf., vol. 155, p. 01005, 2018.

Refbacks

  • There are currently no refbacks.